01
Showerhead
匀气盘面向工艺气体分配，承接匀气盘、面板、背板及顶板等金属零部件加工。
- 孔阵列与气路槽
- 孔径、孔位与平面度
一个领研品牌两地协同，面向客户需求
苏州 · 客户服务产品供应与业务对接
昆山 · 金属加工自有工厂已投产
01 / PRODUCTS
聚焦腔体内的
关键零部件
围绕设备、腔体与工况， 匹配产品结构、材料及交付要求。
02
Heater
加热器提供加热器产品供应，以及盘体、支撑轴、背板和安装接口等金属结构件加工。
- 晶圆加热与承载
- 金属基体与支撑结构
03
Liner
腔体内衬围绕腔体防护与沉积物管理，提供内衬、护罩、沉积环及盖环等配套金属件。
- 腔内防护与配合结构
- 表面与涂层要求
图片为合作供应产品示例。具体规格及验收要求按项目技术文件确认。
典型应用方向
CVD / PECVD / PVD / 刻蚀
按零件及工艺需求匹配02 / METAL MACHINING
金属加工，
从图纸走向交付。
领研半导体器件（昆山）有限公司
工厂已投入生产依托自有昆山工厂，承接同类半导体金属零部件加工。围绕图纸、材料及使用工况，明确加工范围、关键特征与交付要求。
沟通加工需求01
腔体与腔盖
Chamber / Lid
02
气体分配与抽气板件
Faceplate / Top Plate / Pumping Plate
03
护罩与金属环件
Shield / Deposition Ring / Cover Ring
04
热管理基体与支撑件
Heater Base / Chuck Base / Shaft
铝合金 · 不锈钢 · 镍及镍基合金等 具体牌号、状态与加工要求按图纸确认
03 / COATING REFURBISHMENT
从零件状态出发，
确定合适的修复路径。
根据基材、原涂层与使用工况， 组织清洗、表面整修及必要的去膜重涂。
阳极氧化陶瓷防护涂层金属喷涂
来件评估
核对基体尺寸、损伤、膜层与使用记录。
方案确认
按状态选择清洗或整修，必要时去膜重涂。
检验交付
按约定检查尺寸、膜厚、附着力及洁净要求。
04 / ABOUT LINGYAN
领研，连接
客户需求与制造。
苏州对接 FAB 客户，昆山开展金属加工。 以明确的分工，服务零部件供应与修复项目。
领研工业科技（苏州）有限公司
零部件销售、客户需求对接与涂层修复业务。
苏州市相城区高铁新城青龙港路286号长三角国际研发社区启动区2号楼3楼313室领研半导体器件（昆山）有限公司
半导体设备金属零部件与同类结构件加工。
昆山市巴城镇石牌立基路168号2号厂房05 / PROJECT QUALITY
让交付要求，
从一开始就清晰。
尺寸与表面
关键尺寸、形位、孔径与粗糙度
涂层与洁净
膜厚、附着力与污染控制要求
总成功能
真空、流道及电热性能等专项验证
检验项目、实施方式与判定标准按技术协议确定。
06 / GET IN TOUCH
从您的下一张
零件图纸开始。
欢迎沟通产品供应、金属加工及涂层修复需求。
+86 186 2629 3211ylem@linkin-tech.netwww.linkin-semi.com周一至周五 09:00—18:00